江蘇創為(wei)數控機床有限公司
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A多(duo)線切割(ge)的原理
a:砂的作用是切割b:液的(de)作用是懸浮c:鋼(gang)(gang)線(xian)(xian)的作用(yong)是(shi)承載故切(qie)(qie)割(ge)原理是(shi)融合(he)在(zai)切(qie)(qie)割(ge)液中的碳化硅在(zai)高速運行的鋼(gang)(gang)線(xian)(xian)帶動(dong)下完成切(qie)(qie)割(ge)的作用(yong)。
B料漿的(de)作(zuo)用(yong)及其質量控制(zhi)的(de)重要性:
a:料漿(jiang)的作用(yong)是切(qie)割,它是切(qie)割的主體(ti),并且在切(qie)割的過程中還起到了一定的冷(leng)卻(que)、散(san)熱、潤滑的作用(yong)。b:新(xin)料(liao)(liao)漿只能由(you)砂和液組成,不能有(you)其(qi)他任何(he)雜物。在(zai)使(shi)用后的料(liao)(liao)漿里還有(you)玻璃碎粉、鋼屑(xie)、硅粉、膠條(tiao)等。更換砂漿主要是控制這些在(zai)料(liao)(liao)漿里比例(li)小于7-8%,只(zhi)有這樣(yang)才能保證料漿的(de)切割能力,如果砂漿的(de)配置不正確,或者含有大量的(de)雜質,將會(hui)(hui)導致跳(tiao)線(xian)(xian)、斷線(xian)(xian)等,由(you)此(ci)產出(chu)的(de)硅片會(hui)(hui)出(chu)現線(xian)(xian)痕、色差、厚薄不均甚至報廢(fei)。
C:機(ji)器的運(yun)行方式和(he)切割(ge)過程(cheng)中料(liao)漿(jiang)的運(yun)行
NTC多線切割機采取的(de)(de)是下(xia)壓式進給。出于晶(jing)棒的(de)(de)外(wai)形(xing)關系,料漿(jiang)的(de)(de)流(liu)量(liang)要隨著(zhu)晶(jing)棒的(de)(de)形(xing)狀的(de)(de)改變而改變,這樣才能保證硅片的(de)(de)表(biao)面質(zhi)量(liang)。在機器上是采用圖表(biao)的(de)(de)方式對砂漿(jiang)流(liu)量(liang)進行設定和表(biao)示的(de)(de)。
D:切割前的檢查項(xiang)目及機器內(nei)的衛生(sheng):a:鋼(gang)線(xian)的繞線(xian)狀(zhuang)況(壓(ya)線(xian)、表面不平(ping)整等及張力是否正常)。b:接觸輪(lun)和各個導輪(lun)的磨損(sun)狀(zhuang)況及穩定性。c: 主輥(gun)上是否(fou)有跳線,雜物;鋼線的(de)通路是否(fou)正(zheng)確。d:主(zhu)輥上是否(fou)有碎片,膠條等(deng)雜物都必(bi)須處理干凈。e:各個導輪(lun)及接觸輪(lun)是(shi)否(fou)(fou)轉動正常,擺輪(lun)臂上(shang)是(shi)否(fou)(fou)有沉積砂漿,擺動是(shi)否(fou)(fou)自如。f:參數,由于換線筒(tong)等(deng)操作需要更(geng)改(gai)的參數必須在切割前(qian)作更(geng)改(gai)。g:噴嘴必須清理(li),必須觀(guan)察出(chu)料漿流(liu)出(chu)是否(fou)均勻,是否(fou)有(you)段簾。h:料漿(jiang)必須在啟動前(qian)過(guo)濾干凈,料漿(jiang)中不能有雜物。I:晶棒是(shi)否與線(xian)網(wang)對其,避免因晶棒斜面引起爬坡現象。j:檢查晶棒是(shi)否鎖緊。
跳線產(chan)生的原因及處理(li)方式
1:主(zhu)輥(gun)上(shang)的導(dao)線(xian)槽損(sun)壞(huai)(處理(li)方法:在線(xian)網上(shang)下貼好膠帶包好走線(xian)處理(li))。
2:主輥上(shang)有雜(za)物(處理方(fang)法:將(jiang)主輥擦拭干凈(jing),如不能擦拭干凈(jing)需要用壓縮(suo)空氣(qi)將(jiang)主輥上(shang)底上(shang)的雜(za)質吹掉,必要時需要將(jiang)張(zhang)力動(dong)切后將(jiang)線網剪除后進行清(qing)理)。
3:鋼線在通過導輪是(shi)未在槽(cao)內,導致鋼線磨(mo)損,從而導致高線在主(zhu)輥上扭曲。(處理(li)方法同1)
4:切(qie)割過程中產生的碎(sui)片導致(處理(li)方法同2)跳線的的主要形式有(you):
1) 一(yi)個主輥(gun)(gun)有一(yi)個主輥(gun)(gun)有。
2) 兩個主輥(gun)上都有,就是并槽(cao)、跳槽(cao)。
3) 交叉線(xian),兩(liang)根(gen)鋼線(xian)換(huan)槽導(dao)致剛線(xian)交叉。