多線切(qie)割機(ji)是一種全新(xin)概(gai)念的新(xin)型切(qie)割設(she)備(bei)，簡稱線鋸，通過(guo)金屬絲的高速往復(fu)運動(dong)，把磨(mo)料(liao)帶入(ru)半導體加(jia)工區(qu)域進行研磨(mo)，將半導體等硬(ying)脆材(cai)料(liao)一次(ci)同(tong)時切(qie)割為(wei)數百片(pian)薄片(pian)。多線切(qie)割機(ji)以其極(ji)高的生產效率和出片(pian)率，在(zai)大直(zhi)徑硅片(pian)加(jia)工領(ling)域有逐漸取代內圓切(qie)割機(ji)的趨勢。

多線切割機的(de)特點及(ji)應用

多線機切(qie)割晶片的彎(wan)曲度(BOW)小，翹曲(qu)度(Warp)小，平行度(Tarp)好，總厚(hou)度公差(TTV)小，片間(jian)切割(ge)損耗少，加工(gong)晶片表面(mian)損傷層淺，粗糙(cao)度小，切片加工(gong)出(chu)片率高(gao)，生(sheng)產(chan)效率高(gao)，投資回報(bao)率高(gao)。

今天的(de)多線切割機(ji)已經集成了現代制(zhi)造技術(shu)工(gong)藝技術(shu)，現代控制(zhi)技術(shu) 現代傳(chuan)感技(ji)術(shu)和新型材料，例如交流(liu)伺服電(dian)機及驅(qu)動系統 工業控制(zhi)計算機 運動(dong)控制卡及總線系統 主軸油霧潤滑冷卻及(ji)間隙密(mi)封單元(yuan) 恒定(ding)張力快速走(zou)線(xian)系統等 由于(yu)以上系統的擇優(you)選用，使現代多(duo)線切割機適用于(yu)大直徑 IC 硅片(pian)，光伏電池襯底超薄片(pian)，砷(shen)化鎵 磷化銦碳化硅 鈮(ni)酸鋰(li) 鉭酸鋰(li) 光學玻璃等多(duo)種硬脆材(cai)料的切(qie)片(pian)加工。

多線切割機的主要參數(shu)

多線切割機(ji)的主要(yao)技術(shu)指標有：

加(jia)工工件大尺(chi)寸；卸載方式；鋼(gang)絲(si)行走方式主軸數；切(qie)割(ge)線控張(zhang)力(li)制；大鋼(gang)絲(si)速度；線輪直徑；鋼(gang)絲(si)儲(chu)線容(rong)量。

多線切(qie)割機(ji)的發展(zhan)趨勢

多線切(qie)割機經過多年的發展已經成熟，但任(ren)何事物(wu)都不會一勞永逸，今后(hou)的發展方向應(ying)該是大型、快(kuai)速、高精度、高效益。

 (1)、大型是指(zhi)體積適(shi)度加(jia)大，質(zhi)量適(shi)度加(jia)大、以便一次加(jia)工更多材料，增加(jia)質(zhi)量以提高機器穩定度，使晶片(pian)加(jia)工過程穩定性(xing)更好。

 (2)、切割線(xian)行走速(su)(su)(su)度(du)的(de)提高，有(you)利于加快切割速(su)(su)(su)度(du)提高工(gong)作(zuo)效(xiao)率、帶入(ru)砂(sha)漿速(su)(su)(su)度(du)的(de)加快可以使砂(sha)漿配比改變，使其流(liu)動(dong)(dong)性(xing)、滲(shen)透性(xing)、研磨性(xing)更好，從(cong)而減少碳化硅、碳化硼、金(jin)剛石粉的(de)消耗量，降低生(sheng)產成本(ben)，同(tong)時砂(sha)漿稀釋(shi)流(liu)動(dong)(dong)加快使冷卻效(xiao)果(guo)更好，使砂(sha)漿對熱交(jiao)換器的(de)依賴程(cheng)度(du)減低。

 (3)、機器精度提高使切(qie)割線(xian)無效(xiao)磨(mo)擦(ca)減(jian)(jian)少(shao)，切(qie)割線(xian)徑減(jian)(jian)小會(hui)使加(jia)工材料損(sun)耗(hao)減(jian)(jian)少(shao)，切(qie)割晶片(pian)的(de)彎(wan)曲度、翹曲度、平行度、總厚度公差變好，加(jia)工晶片(pian)表面損(sun)傷層淺,粗(cu)糙度小，出片(pian)率高(gao)。

 (4)主軸繞(rao)線輪一般(ban)采用(yong)樹脂(zhi)材料，其(qi)耐磨性(xing)散(san)熱(re)性(xing)較(jiao)差(cha)，商家給出單件(jian)長壽命、800、h、線槽磨損深(shen)度超(chao)過、1、mm，必須(xu)送專(zhuan)業廠家磨平重(zhong)新開槽，工藝(yi)復雜(za)費用(yong)高，近來用(yong)陶(tao)瓷材料制(zhi)作的(de)繞線(xian)輪(lun)表(biao)現出較高的(de)散熱(re)性和抗磨損特性，有望終(zhong)取代樹脂(zhi)繞線(xian)輪(lun)。

 (5)、鍍金剛(gang)砂的(de)切割線使(shi)用(yong)，可(ke)使(shi)用(yong)水冷卻，減(jian)少了龐(pang)大的(de)熱交換系統(tong)，又可(ke)減(jian)少磨料的(de)使(shi)用(yong)，可(ke)謂(wei)一舉多(duo)得。

 (6)、切削液(ye)對多線切割機是非常重要(yao)的一環，尤其對大直徑、超薄片的切割、切削液(ye)本(ben)身(shen)具有不污(wu)染(ran)環境和被(bei)加工材(cai)料，對后道工序(xu)不構成影響(xiang)，低(di)黏度、高帶沙量、低(di)雜(za)質含量、易于清(qing)洗、切削液(ye)有專一化的傾向。

 (7)、砂(sha)漿回收裝置系統的應用可使昂貴(gui)的金剛(gang)石粉(fen)、碳化硅粉(fen)和碳化硼粉(fen)得到充分利用，從(cong)而降低生產成本，減少(shao)廢(fei)棄(qi)物保護環境。

 (8)、人們一直(zhi)在試驗其它硬脆(cui)材料的(de)更高(gao)效、更簡捷、更高(gao)精(jing)度的(de)切割方法如高(gao)壓水(shui)刀(dao)，激(ji)光(guang)水(shui)刀(dao)、激(ji)光(guang)水(shui)刀(dao)劃片機的(de)成功應(ying)用似乎已(yi)經為激(ji)光(guang)水(shui)刀(dao)切割機開(kai)創了一條新的(de)途徑。

我國(guo)多線切(qie)割機(ji)的(de)新突(tu)破/高精度數(shu)控多線切(qie)割機床打破國外壟斷。